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MEMS压力传感器在电阻点焊压力测试中的应用
引用本文:王锋,宋永伦,张军,王文襄.MEMS压力传感器在电阻点焊压力测试中的应用[J].焊接,2008(2):38-40.
作者姓名:王锋  宋永伦  张军  王文襄
作者单位:1. 北京工业大学机电学院焊接研究所,100016
2. 昆山双桥传感器测控技术有限公司,215325
基金项目:国防科技应用基础研究基金
摘    要:针对目前航天焊接生产中压力信号测量问题,采用MEMS压力传感器代替原有的压电式压力传感器采集点焊电极压力信号.实验证明,与常用的压电式压力传感器相比,根据点焊电极压力特点专门制造的MEMS微机械压力传感器排除了点焊机械结构的影响,分辨率更高,工作范围更大,有利于点焊缺陷的判别;可以获取完整的压力信号,从而预防点焊缺陷的产生.

关 键 词:电阻点焊  微机械系统压力传感器  在线监测
收稿时间:2007-09-20
修稿时间:2007年9月20日

Application of MEMS pressure sensor to measuring electrode
Wang Feng.Application of MEMS pressure sensor to measuring electrode[J].Welding & Joining,2008(2):38-40.
Authors:Wang Feng
Abstract:
Keywords:
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