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基于C-V,I-V,Q-V特性的铁电电容新模型
引用本文:陈小明,汤庭鳌. 基于C-V,I-V,Q-V特性的铁电电容新模型[J]. 半导体学报, 2005, 26(5): 983-989
作者姓名:陈小明  汤庭鳌
作者单位:复旦大学微电子学系ASIC和系统国家重点实验室,上海,200433;复旦大学微电子学系ASIC和系统国家重点实验室,上海,200433
基金项目:国家自然科学基金 , 应用材料(AM)基金 , 国防科技预研基金 , PDC基金
摘    要:
推导出描述铁电电容电气特性的新模型.铁电电容可以等效为开关电容(电畴电容)和非开关电容(普通线性电容)的并联,而电畴电容可以看作是由电偶极子组成的铁电材料、上电极和下电极组成.根据实验测试的铁电电容的C-V特性,选定电偶极子矫顽电压的概率密度函数为t分布,从而推导出只用6个参数描述的铁电电容的C-V,I-V和Q-V关系式,根据这些关系式仿真的结果与实验结果基本吻合.

关 键 词:铁电电容  模型  C-V特性  电偶极子  概率密度函数
文章编号:0253-4177(2005)05-0983-07
修稿时间:2004-05-31

A New Model of Ferroelectric Capacitor Based on C-V, I-V,Q-V Characteristics
Chen Xiaoming,Tang Ting''''ao. A New Model of Ferroelectric Capacitor Based on C-V, I-V,Q-V Characteristics[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2005, 26(5): 983-989
Authors:Chen Xiaoming  Tang Ting''''ao
Abstract:
Keywords:ferroelectric capacitor  model  C-V characteristic  dipole  probability density function
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