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混合集成电路内键合失效模式及机理分析

作者姓名：	何超吕红杰江国栋汪张超

摘要：	整机小型化的发展对混合集成电路提出了更高的可靠性要求.该文通过对典型案例的介绍,阐述了混合集成电路键合失效机理、预防措施,以及键合退化失效的寿命评估方法.
关键词：	键合工艺混合集成电路键合失效