MEMS安全起爆芯片技术研究

针对MEMS火工品低能化带来的安全性问题，设计了MEMS安全起爆芯片，包括加热器层、绝缘层、导线控制层。对安全起爆芯片的形貌、表面粗糙度、厚度和安全发火性能进行了测试，测试结果表明：MEMS平面开关可以实现通断转换，安全起爆芯片的全发火电流为0.5A，全发火电压为7V，作用时间22微秒，发火能量小于1mJ。MEMS安全起爆芯片能够提高本质安全性，可以为MEMS火工品提供技术支撑。