| 形状记忆合金薄膜在微机电系统中的应用 |
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| 引用本文： | 程秀兰,蔡炳初,徐东,王莉. 形状记忆合金薄膜在微机电系统中的应用[J]. 功能材料, 2002, 33(6): 594-597 |
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| 作者姓名： | 程秀兰 蔡炳初 徐东 王莉 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030 |
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| 摘 要： | 形状记忆合金（SMA）薄膜因其特有的形状记忆合金效应,超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能,而在微机电系统中的微驱动器和微传感器方面极具应用潜力,本文主要介绍了以TiNi基合金为主的形状记忆合金薄膜在微驱动器和微传感器上的国内外应用性研究现状,并展望了其未来的发展趋势。
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| 关 键 词： | 形状记忆合金 形状记忆效应 超弹性 微机电系统 微驱动器 微传感器 |
| 文章编号： | 1001-9731(2002)06-0594-04 |
| 修稿时间： | 2001-12-16 |
Application of shape memory alloy thin films in MEMS |
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| CHENG Xiu lan,CAI Bin chu,XU Dong,WANG Li. Application of shape memory alloy thin films in MEMS[J]. Journal of Functional Materials, 2002, 33(6): 594-597 |
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| Authors: | CHENG Xiu lan CAI Bin chu XU Dong WANG Li |
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| Abstract: | Thin film of shape memory alloy has a great application potential for microactuator and microsensor in MEMS due to its perfect shape memory effect, superelasticity, and its particular performance as thin film. In this paper, application research statuses about microactuators and microsensors with thin films of shape memory alloy were presented, and at last their futures were also prospected. |
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| Keywords: | shape memory alloys shape memory effect superelasticity MEMS microactuators microsensors |
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