| 采用连续、脉冲等离子体合成低表面能薄膜 |
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| 引用本文： | 陈强,张跃飞,张广秋,葛袁静,庞华,陈光良. 采用连续、脉冲等离子体合成低表面能薄膜[J]. 包装工程, 2005, 26(2): 12-13 |
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| 作者姓名： | 陈强 张跃飞 张广秋 葛袁静 庞华 陈光良 |
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| 作者单位： | 北京印刷学院,北京,102600;北京印刷学院,北京,102600;北京印刷学院,北京,102600;北京印刷学院,北京,102600;北京印刷学院,北京,102600;北京印刷学院,北京,102600 |
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| 基金项目： | 北京市教委科技发展计划项目 |
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| 摘 要： | 采用连续与脉冲射频等离子体合成低表面能薄膜SiCxOy.通过对薄膜性能的表征,发现等离子体放电模式影响聚合膜的化学结构、表面成份、表面能数值大小,认为采用脉冲射频等离子体更易合成低表面能聚合物.
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| 关 键 词： | 射频等离子体 连续脉冲模式 表面能薄膜 |
| 文章编号： | 1001-3563(2005)02-0012-02 |
| 修稿时间： | 2005-01-08 |
Low Surface Energy Polymer Deposited in Continuous and Pulsed Plasma Model |
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| CHEN Qiang,ZHANG Yue-fei,ZHANG Guang-que,GE Yuan-jing,PANG Hua,CHEN Guang-Liang. Low Surface Energy Polymer Deposited in Continuous and Pulsed Plasma Model[J]. Packaging Engineering, 2005, 26(2): 12-13 |
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| Authors: | CHEN Qiang ZHANG Yue-fei ZHANG Guang-que GE Yuan-jing PANG Hua CHEN Guang-Liang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Radio frequency plasma Continuous and pulse plasma models Low surface energy |
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