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| 细丝直径高精度衍射测量的研究 | |
| 引用本文： | 张凤生,张立保.细丝直径高精度衍射测量的研究[J].计量技术,2007(6):32-35. |
| 作者姓名： | 张凤生 张立保 |
| 作者单位： | 青岛大学机电工程学院,青岛,266071 |
| 摘 要： | 利用线阵CCD的空间细分作用测量细丝衍射的暗纹间距S,从而实现细丝直径的高精度测量.本文采用的加权数据处理方法不仅有效地减小了CCD的光响应非均匀性和衍射光强分布的随机波动对测量准确度的影响,而且可以有效减小因S不等于CCD像元中心距的整数倍所引起的细分误差.文中还分析了由物镜焦距变化所引起的系统误差对测量的影响.对一级量针的测量实验表明其测量准确度达±0.5%. |
| 关 键 词： | 细丝直径 衍射测量 CCD 细丝直径 高精度测量 衍射测量 测量实验 系统误差 距变化 物镜 分析 细分误差 整数倍 中心距 像元 影响 测量准确度 随机波动 衍射光强分布 非均匀性 光响应 处理方法 数据 |
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