| 一种新型MEMS矢量水听器的设计 |
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| 作者姓名： | 许姣 李俊 张国军 石归雄 张文栋 |
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| 作者单位： | 1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原 030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原 030051
2. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原,030051
3. 中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原,030051 |
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| 基金项目： | 国际科技合作基金资助项目 |
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| 摘 要： | 针对国内对高灵敏、小体积、造价低的矢量水听器迫切应用需求的现状,提出了一种新型的双"T"型微机电系统(MEMS)矢量水听器。该敏感单元结构可一体化加工,且加工成本低,适合大批量生产,易于阵列化。采用ANSYS仿真,得出1阶共振频率为1 840Hz,压敏电阻位置距离梁根部180μm。对此结构进行声学封装与测试,测试结果表明,该水听器在1kHz的灵敏度达到-175dB,工作频段为100Hz～4kHz,具有良好的"8"指向性。
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| 关 键 词： | 矢量水听器 微机电系统(MEMS) 封装与测试 ANSYS |
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