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| 10—^10Pa测射离子泵的研制 | |
| 作者姓名： | 仇华兴 孙仁君等 |
| 作者单位： | [1]上海真空泵厂201709 [2]上海市计量测试技术研究院200233 |
| 摘 要： | 本文介绍10－^10Pa溅射离子泵的研制,论述提高极限真空度和抽气速率的方法。 |
| 关 键 词： | 溅射离子泵 极限真空度 抽气速度 真空泵 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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