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| 微机械陀螺仪版图与工艺设计 | |
| 引用本文： | 熊爱武.微机械陀螺仪版图与工艺设计[J].集成电路通讯,2007,25(1):25-27. |
| 作者姓名： | 熊爱武 |
| 作者单位： | 中国兵器工业第214研究所,蚌埠233042 |
| 摘 要： | 体硅MEMS工艺是一种主要的微机电系统加工手段，通过对陀螺结构研究和体硅MEMS工艺的实验，在陀螺的版图设计和工艺加工方面积累了一些实践经验。对于我们今后开展体硅MEMS工艺技术研究和陀螺结构设计是一个很好的借鉴。 |
| 关 键 词： | 微机械音叉陀螺 微系统 体硅工艺 |
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