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X光电子谱的散射修正
引用本文:罗绍菊,何炜.X光电子谱的散射修正[J].真空科学与技术,1999,19(4):242-246.
作者姓名:罗绍菊  何炜
作者单位:清华大学电子工程系
摘    要:运用W.S.M、Wernet等学的理论模型,研究光电子从产生处向固体表面输运过程中弹性散射和非弹性散射对XPS谱峰的影响,计算出散射响应函数,并将其应用于Au和Cu的XPS峰形修正中,用最大熵非负退卷积方法有效地消除散射响应失真,得到光电子在激发处的真实状态和谱峰。

关 键 词:X光电子谱  散射修正  散射响应函数    
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