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| 多层梁机电耦合系统的等效电路宏模型 | |
| 引用本文： | 戎华,黄庆安,李伟华.多层梁机电耦合系统的等效电路宏模型[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 戎华 黄庆安 李伟华 |
| 摘 要： | 实现MEMS器件系统级模拟的关键是建立其宏模型.由单层梁构成的机电耦合系统的等效电路宏模型, 已做过深入的研究,但实际的MEMS器件通常都是多层的.本文提出了一种基于力-电压(F-V)类比的、适用于由多层梁构成的机电耦合系统的等效电路宏模型,该模型可进行小信号时域和频域分析, 能为多层梁机电耦合系统的设计带来很大的方便.模拟结果表明,该模型具有较高的精度. |
| 关 键 词： | 多层梁 等效电路宏模型 F-V类比 |
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