| 一种兆赫频超声抛光振子的设计与研究 |
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| 引用本文： | 何勍,翟科,李亮,任奕.一种兆赫频超声抛光振子的设计与研究[J].机械设计与制造,2018(1):118-121. |
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| 作者姓名： | 何勍 翟科 李亮 任奕 |
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| 作者单位： | 辽宁工业大学振动工程研究所; |
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| 基金项目： | 辽宁省科学计划项目(2015020159) |
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| 摘 要： | 在声波透射与折射基本理论的基础上,设计制作了匹配层压电换能器结构的兆声抛光振子,提高了兆赫频超声抛光工具的声能量辐射效率。此外,通过对兆声压电振子的振动模式进行控制,消除了高频圆片型压电振子本身存在的强烈的耦合振动效应。在制作完成兆声抛光振子的基础上,对抛光振子工作端的振动振幅进行了测试,在横向尺度上满足了兆声抛光工具头振动振幅均匀化的要求。实现了一种用于硅片化学机械抛光的兆声抛光振子。为大尺寸硅片的化学机械抛光工艺提供了可借鉴的附加技术手段。
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| 关 键 词： | 兆声 化学机械抛光 声传播 模式控制 压电振子 |
Research and Design of a High Frequency Megasonic Piezoelectric Polishing Vibrator |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Megasonic Chemical Mechanical Polishing Silicon Wafer Mode Control Piezoelectric Vibrator |
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