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| 光刻设备TRACK系统的无死锁调度算法 | |
| 作者姓名： | 王令群 郑应平 |
| 作者单位： | 同济大学 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);中国科学院资助项目 |
| 摘 要： | 为使半导体生产线光刻设备的TRACK系统正常运行,有效的避免死锁,提高设备利用率,提出一种无死锁调度算法,在不会引发死锁的条件下为需要调度的工件确定加工组件,同时考虑到组件发生故障的情况,及时排除故障的影响,并通过仿真证明了算法的有效性。 |
| 关 键 词： | 半导体生产线 柔性路由 无死锁调度 |
| 文章编号： | 1002-8331-（2006）07-0001-03 |
| 收稿时间： | 2005-12-01 |
| 修稿时间： | 2005-12-01 |
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