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| 新一代半导体器件参数的比例差值谱系统 | |
| 引用本文： | 纪志罡,靳磊,许铭真,谭映,王国林,马进元.新一代半导体器件参数的比例差值谱系统[J].中国集成电路,2005(12):49-53,72. |
| 作者姓名： | 纪志罡 靳磊 许铭真 谭映 王国林 马进元 |
| 作者单位： | 1. 北京大学微电子研究院 2. 北信通微电子系统公司 |
| 摘 要： | 1.引言 随着大规模集成芯片上的器件尺寸的微型化,为了解决微小尺度的各种功能器件关键参数的直接提取及建立一种在线的综合检测与分析技术,半导体器件参数比例差值谱系统运用了一种新的数据处理运算概念,即比例差值算符,揭示了元器件的另一种本征特性--比例差分特性. |
| 关 键 词： | 比例差值算符 器件参数 半导体 系统 大规模集成芯片 一代 本征特性 理论与实践 综合检测 直接提取 |
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