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| 电真空器件程控排气的研究 | |
| 引用本文： | 米伦,史愚砾,石磊.电真空器件程控排气的研究[J].真空,2003(2):54-56. |
| 作者姓名： | 米伦 史愚砾 石磊 |
| 作者单位： | 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川,绵阳,621900 |
| 摘 要： | 简要介绍了应用单片机实现电真空器件的程控真空排气，优化了工艺，保证了真空排气工艺的一致性和稳定性，提高了产品的质量，其程控系统设计合理，抗干扰能力强，操作简便。 |
| 关 键 词： | 真空器件 程序排气 真空度 |
| 文章编号： | 1002-0322(2003)02-0054-03 |
| 修稿时间： | 2002年11月23 |
Research on programme control of electrovacuum device |
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| Abstract: | |
| Keywords: | electrovacuum device exhaust controlled by program vacuum degree |
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