| 双膜桥微波MEMS开关 |
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| 引用本文： | 朱健,郁元卫,陆乐,贾世星,张龙. 双膜桥微波MEMS开关[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 382-384 |
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| 作者姓名： | 朱健 郁元卫 陆乐 贾世星 张龙 |
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| 作者单位： | 1. 东南大学仪器科学与工程系,江苏,南京,210096;南京电子器件研究所,江苏,南京,210016
2. 南京电子器件研究所,江苏,南京,210016 |
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| 摘 要： | 介绍了一种双膜桥微波MEMS开关，给出了开关的设计与优化方法，建立了开关的仿真模型，使用硅表面微机械工艺制造了双膜桥开关样品，其主要结构为硅衬底上制作CPW金属传输线电极和介质层，然后制作具有微电感结构的金属膜桥，提高了开关隔离度。利用HFSS软件仿真的结果表明，该开关在微波低频段(3～6GHz)有着很好的隔离性能。研制的开关样品在片测试的电性能指标为：插损小于0．3dB，隔离度大于40dB，驱动电压小于24V。
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| 关 键 词： | 双膜桥微波MEMS开关 微机电系统 射频开关 高隔离度 微电感结构 开关隔离度 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0382-03 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
Two membrane microwave MEMS switches |
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