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| 超紧凑型SOI基3×3MMI波导光开关的优化设计 | |
| 引用本文： | 贾晓玲,高凡,张峰.超紧凑型SOI基3×3MMI波导光开关的优化设计[J].半导体光电,2005,26(4):294-298. |
| 作者姓名： | 贾晓玲 高凡 张峰 |
| 作者单位： | 同济大学,电子科学与技术系,上海,200092;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
| 摘 要： | 提出一种基于SOI材料的超紧凑型3×3 MMI波导光开关,开关仅有一个多模波导,且多模波导采用更为紧凑的双曲结构.用FD-BPM方法对其各个状态进行了模拟和分析,并对器件的结构参数进行了优化设计.结果表明,这种光开关可以成功实现任意两输入和输出通道间的开关功能,优化后的开关呈现优良的综合性能,且整个器件的尺寸小于4mm. |
| 关 键 词： | 多模干涉耦合器 光开关 SOI 区域调制 双曲结构 |
| 文章编号： | 1001-5868(2005)04-0294-05 |
| 收稿时间： | 2004-12-10 |
| 修稿时间： | 2004年12月10日 |
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