| 实时测量器件中光学薄膜厚度的新方法研究 |
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| 引用本文： | 钱芸生,富容国,徐登高,常本康.实时测量器件中光学薄膜厚度的新方法研究[J].真空科学与技术学报,1998(6). |
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| 作者姓名： | 钱芸生 富容国 徐登高 常本康 |
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| 作者单位： | 南京理工大学电子工程与光电技术学院!南京210094 |
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| 摘 要： | 从薄膜光学理论出发，阐述了利用光学反射比实时测量特种器件中光学薄膜厚度的原理，介绍了测试仪器，分析了测试结果。在已知基底的折射率、光学薄膜的折射率、消光系数及入射光波长的情况下，可计算出光学薄膜的反射比随厚度变化的理论曲线，实验曲线与理论曲线相比较，可实时获得薄膜的厚度信息，这对控制薄膜工艺很有益处。
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| 关 键 词： | 光学薄膜 光学反射比 厚度 |
In-situ Measurements of the Optical Film Thickness in Vacuum Devices Fabrications |
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| Qian Yunsheng, Fu Rongguo, Xu Denggao, Chang Benkang.In-situ Measurements of the Optical Film Thickness in Vacuum Devices Fabrications[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,1998(6). |
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| Authors: | Qian Yunsheng Fu Rongguo Xu Denggao Chang Benkang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Optical film Optical reflectance coefficient Thickness |
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