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IMT公司用于MEMS的WLP和TSV集成技术
摘    要:创新微技术公司(IMT)是一家产品多样化和客源广泛的MEMS合同制造商和代工厂。IMT成立于2000年,专业生产MEMS(微电子机械系统)器件。IMT拥有13万平方英尺的配套设施,包括3万平方英尺的100级洁净室/厂房,目前该净化厂房是世界范围内最大且设施最好的独立式MEMS厂房。该公司主要从事批量生产,可提供从设计到生产的完整代工服务。

关 键 词:MEMS  集成技术  TSV  WLP  微电子机械系统  净化厂房  批量生产  配套设施
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