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基于蒙特卡罗方法的平面度测量不确定度评定
作者姓名:
李高峰
陈晓怀
王宏涛
李红莉
作者单位:
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥,230009
摘 要:
介绍利用蒙特卡罗方法进行平面度测量的不确定度评定.首先,根据最小二乘法得到平面度的误差模型,再采用蒙特卡罗仿真方法对测量值进行模拟仿真,从而得到平面度误差的不确定度,然后将评定结果与传统评定方法的结果进行比较.结果表明该方法简便易行.
关 键 词:
蒙特卡罗方法
平面度
不确定度
最小二乘法
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