| 飞秒激光直写太赫兹波段二维金属亚波长孔阵列 |
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| 引用本文： | 汪月容,李毅,何书通,毛鹏程,胡明列.飞秒激光直写太赫兹波段二维金属亚波长孔阵列[J].激光与光电子学进展,2011(5). |
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| 作者姓名： | 汪月容 李毅 何书通 毛鹏程 胡明列 |
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| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室光电信息技术科学教育部重点实验室; |
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| 基金项目： | 国家大学生创新性实验计划项目(081005607)资助课题 |
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| 摘 要： | 利用中心波长为775 nm、重复频率为1 kHz、脉宽为130 fs的飞秒激光脉冲对厚度为200μm的铜片进行微加工,制作了适用于太赫兹(THz)波段(0.1~4 THz)的二维金属亚波长孔阵列。实验中,分别固定激光能量和加工时间,研究烧蚀孔直径随激光功率及加工时间的变化规律,发现激光偏振态是引起烧蚀缺口的主要原因。利用数值模拟软件(CST)计算出适用于THz波段的金属孔阵列结构参数,根据以上实验结果选择合适的激光参数制作了孔阵列。
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| 关 键 词： | 激光技术 飞秒激光微纳加工 打孔 二维金属亚波长孔阵列 |
Femtosecond Laser Directly Writing Two Dimensional Metal Sub-wavelength Hole Array Applicable to Terahertz Band |
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| Wang Yuerong Li Yi He Shutong Mao Pengcheng Hu Minglie.Femtosecond Laser Directly Writing Two Dimensional Metal Sub-wavelength Hole Array Applicable to Terahertz Band[J].Laser & Optoelectronics Progress,2011(5). |
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| Authors: | Wang Yuerong Li Yi He Shutong Mao Pengcheng Hu Minglie |
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| Affiliation: | Wang Yuerong Li Yi He Shutong Mao Pengcheng Hu Minglie(Key Laboratory of Optoelectronic Information Technical Science,Ministry of Education,Ultrafast Laser Laboratory,College of Precision Instruments and Optoelectronics Engineering,Tianjin University,Tianjin 300072,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser technique femtosecond laser micromachining drilling two dimensional mental sub-wavelength hole array |
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