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| 微波表面波对管内壁沉积DLC薄膜的均匀性的研究 | |
| 作者姓名： | 周美丽 施昌勇 陈强 |
| 摘 要： | 本文主要是开展对管状件内壁(如碳钢、聚酯PET瓶、塑料针筒等)采用微波表面波等离子体沉积薄膜的均匀性的研究.论文从沉积薄膜的工艺参数到微波耦合天线的设计对所沉积的纳米DLC薄膜均匀性的影响因素方面进行了探索,通过测量沿天线方向不同位置薄膜的沉积速率得到:影响微波等离子体沉积薄膜均匀性的因素主要是表面波强度的大小,Pen... |
| 关 键 词： | 微波等离子体 管状件 纳米薄膜 均匀性 |
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