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1995~2010年VLSI/ULSI对原始硅材料的要求
摘    要:1995~2010年VLSI/ULSI对原始硅材料的要求1995035μm1998025μm2001018μm2004013μm2007010μm2010007μm晶片直径(mm)(A)200200300300400400规格参数(在95...

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