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| 一种开路短截线结构的耦合式微波功率传感器 | |
| 作者姓名： | 韩磊 |
| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
| 基金项目： | 国家863计划(2007AA04Z328); 国家自然科学基金(60676043) |
| 摘 要： | 提出了一种基于MEMS技术的在线式微波功率传感器结构,并对该结构进行了理论分析、设计、制作和测量。该微波功率传感器通过加入阻抗匹配和开路短截线结构实现低损耗和宽频带的在线测量。该结构制作工艺与GaAs MMIC工艺完全兼容。测量结果显示,在8GHz～12GHz频率范围内,微波功率传感器的反射系数小于-18dB,插入损耗优于0.45dB,在10GHz中心频率下的灵敏度为12.0μV/mW。 |
| 关 键 词： | 微波功率 功率传感器 在线式 MEMS GaAs MMIC工艺 |
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