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| 基于:CH薄膜的微齿轮的制备 | |
| 作者姓名： | 张继成吴卫东 唐永建 |
| 作者单位： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900 |
| 基金项目： | 中国工程物理研究院基金 |
| 摘 要： | 采用低压等离子体化学气相沉积技术在硅片上制备出α∶CH薄膜,以金属铝作为掩膜,利用电子回旋共振微波等离子体反应离子刻蚀法制备微齿轮,再用化学腐蚀的办法将所制备的齿轮从硅片上剥离下来,最后清洗干净后用毛细管把微齿轮组装到一个固定的转轴上.扫描电子显微镜(SEM)测量表明,所得的微齿轮直径270μm左右,厚度12 μm左右,表面平整,侧壁陡直. |
| 关 键 词： | 微齿轮 反应离子刻蚀(RIE) α∶CH薄膜 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1398-03 |
| 修稿时间： | 2006-07-01 |
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