| 基于PSD的静电悬浮位置测量与控制系统设计 |
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| 引用本文： | 代斌,孙志斌,王飞龙,翟光杰. 基于PSD的静电悬浮位置测量与控制系统设计[J]. 传感器与微系统, 2015, 34(3): 97-99,102. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2015)03-0097-03 |
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| 作者姓名： | 代斌 孙志斌 王飞龙 翟光杰 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院复杂航天系统电子信息技术重点实验室,空间科学与应用研究中心,北京100190;中国科学院大学,北京100190;2. 中国科学院复杂航天系统电子信息技术重点实验室,空间科学与应用研究中心,北京100190 |
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| 摘 要： | ![]()
建立了基于位置敏感探测器(PSD)的静电悬浮三维位置信息测量与控制系统,分析了PSD的结构与静电悬浮位置测量与控制原理.系统采用单片机STC12C5A60S2处理PSD输出信号,得出悬浮样品位置信息与PSD输出电压的对应关系,实现单片机与上位机的通信,对测量的位置数据进行分析、处理以及悬浮样品位置控制.利用锆材料进行悬浮实验,实验结果表明:建立的测量系统能实现样品位置信息的非接触测量与稳定悬浮,具有测量数据可靠,运行稳定等优点,为材料悬浮加热和深过冷研究奠定了基础.
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| 关 键 词： | 位置敏感探测器 静电悬浮 信号处理 |
Design of measurement and control system of position of electrostatic levitation based on PSD |
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| DAI Bin,SUN Zhi-bin,WANG Fei-long,ZHAI Guang-jie. Design of measurement and control system of position of electrostatic levitation based on PSD[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2015, 34(3): 97-99,102. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2015)03-0097-03 |
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| Authors: | DAI Bin SUN Zhi-bin WANG Fei-long ZHAI Guang-jie |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | position sensitive detector (PSD) electrostatic levitation signal processing |
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