| BaTiO3/SrTiO3超晶格的微结构研究 |
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| 引用本文： | 刘飞,郑冰,佟富强,高丽娟,于文学,郑伟涛.BaTiO3/SrTiO3超晶格的微结构研究[J].材料科学与工艺,2001,9(3):322-324. |
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| 作者姓名： | 刘飞 郑冰 佟富强 高丽娟 于文学 郑伟涛 |
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| 作者单位： | 吉林大学材料科学系, |
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| 基金项目： | 教育部高校骨干教师资助计划，， |
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| 摘 要： | 本实验研究利用激光分子束外延法（L－MBE）研究在SrTiO3(STO)(001)基片上生长的BaTiO3(BTO)/SrTiO3(STO)超晶格的微结构，利用小角X射线衍射光谱（SAXRD）的计算机模拟来获得BaTiO3/Sr-TiO3超晶格的微结构参数，如：总的膜厚度，超晶格周期，表面和界面的均方根粗糙度等。实验结果表明超晶格的表面和界面非常平整，均方根粗糙度大约为0.2nm，原子力显微镜（AFM）的实验研究已经证明了超晶格结构的平滑程度，超晶格的＜001＞方向存在着微弱的关联现象。
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| 关 键 词： | BaTiO3／SrTiO3超晶格 小角X射线衍射 表面 界面 微结构 均方根粗糙度 钛酸钡 钛酸锶 铁电体 介电体 |
| 文章编号： | 1005-0299(2001)03-0322-03 |
| 修稿时间： | 2001年3月5日 |
Microstructural study of BaTiO3/SrTiO3 superlattice |
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| LIU Fei,ZHENG Bing,TONG Fu qiang,GAO Li juan,YU Wen xue,ZHENG Wei tao.Microstructural study of BaTiO3/SrTiO3 superlattice[J].Materials Science and Technology,2001,9(3):322-324. |
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| Authors: | LIU Fei ZHENG Bing TONG Fu qiang GAO Li juan YU Wen xue ZHENG Wei tao |
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| Keywords: | BaTiO 3 / SrTiO 3 superlattice Small angle X ray diffraction Interface and surface Microstructure Rms roughness |
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