| 反应磁控溅射法沉积的氟化类金刚石薄膜的结构分析 |
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| 引用本文： | 江美福,宁兆元.反应磁控溅射法沉积的氟化类金刚石薄膜的结构分析[J].功能材料,2004,35(1):52-54. |
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| 作者姓名： | 江美福 宁兆元 |
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| 作者单位： | 苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(10175048) |
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| 摘 要： | 以高纯石墨作靶、Ar／CHF3作源气体采用射频反应磁控溅射法室温下制备了氟化类金刚石薄膜(F-DLC)。发现随着射频功率的增加,F-DLC薄膜拉曼光谱的D峰与G峰强度之比ID／IG加大,薄膜中芳香环式结构比例上升。红外吸收光谱则显示射频功率增加导致薄膜中的氟含量上升．氟原子与碳原子以及芳香环的耦合加强。控制射频功率可以有效调制薄膜中的氟含量以及芳香环结构的比例,F—DLC可能成为热稳定性较好的碳氟薄膜。
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| 关 键 词： | 反应磁控溅射 氟化类金刚石薄膜 拉曼光谱 红外吸收光谱 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)01-0052-03 |
| 修稿时间： | 2003年2月27日 |
Analysis of the structure of fluorinated diamond-like carbon films prepared by reactive magnetron sputtering |
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| JIANG Mei-fu,NING Zhao-yuan.Analysis of the structure of fluorinated diamond-like carbon films prepared by reactive magnetron sputtering[J].Journal of Functional Materials,2004,35(1):52-54. |
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| Authors: | JIANG Mei-fu NING Zhao-yuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | reactive magnetron sputtering F-DLC films Raman spectra Infrared absorption spectra |
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