| 透明材料飞秒激光三维微制备 |
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| 引用本文： | 李焱,蒋红兵,杨宏,龚旗煌. 透明材料飞秒激光三维微制备[J]. 量子电子学报, 2004, 21(2): 188-193 |
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| 作者姓名： | 李焱 蒋红兵 杨宏 龚旗煌 |
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| 作者单位： | 北京大学物理系,人工微结构与介观物理国家重点实验室,北京,100871;北京大学物理系,人工微结构与介观物理国家重点实验室,北京,100871;北京大学物理系,人工微结构与介观物理国家重点实验室,北京,100871;北京大学物理系,人工微结构与介观物理国家重点实验室,北京,100871 |
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| 基金项目： | 国家重大基础研究项目(973)TG1999075207,国家基金委项目(90206003、90101027) |
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| 摘 要： | 利用飞秒激光对透明材料进行改性和加工,制备三维微结构和器件受到极大的关注。本文介绍了在透明材料内部或表面进行微制备的方法和应用,包括利用飞秒激光诱导的折射率变化来制作光波导、光栅和耦合器等;利用材料内部的微爆炸实现三维点存储和其它三维点阵结构等;通过界面的烧蚀过程进行打孔、切割和刻蚀等;利用双光子聚合制备微透镜、光子晶体和衍射光学元件等等。
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| 关 键 词： | 激光技术 飞秒激光 三维微制备 透明材料 |
| 文章编号： | 1007-5461(2004)02-0188-06 |
| 收稿时间： | 2004-01-25 |
| 修稿时间： | 2004-01-25 |
Three-dimensional microfabrication in transparent materials with femtosecond laser pulses |
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| LI Yan,JIANG Hong-bing,YANG Hong,GONG Qi-huang. Three-dimensional microfabrication in transparent materials with femtosecond laser pulses[J]. Chinese Journal of Quantum Electronics, 2004, 21(2): 188-193 |
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| Authors: | LI Yan JIANG Hong-bing YANG Hong GONG Qi-huang |
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| Abstract: | Fabrication of three-dimensional microstructures and microdevices based on femtosecond laser modification and machining of transparent materials has attracted much attention. Microfabrication techniques and their applications are introduced, including femtosecond laser induced refractive index change for fabrication of optical waveguides, gratings and couplers; microexplosion inside materials for three-dimensional bit-oriented storage and other dot-arrayed structures; interface ablation for drilling, cutting and etching; two-photon polymerization for microlens, photonic cryatals and diffractive optical elements. |
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| Keywords: | laser techniques femtosecond laser three-dimensional microfabrication transparent material |
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