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| 一种圆环结构MEMS谐振器设计 | |
| 引用本文： | 吴骅业.一种圆环结构MEMS谐振器设计[J].数码设计:surface,2021(7):50-51. |
| 作者姓名： | 吴骅业 |
| 作者单位： | 海康威视 |
| 摘 要： | 本文设计了一种圆环结构的高Q值MEMS压电谐振器,这种结构的谐振器可在单片RF系统上生产,减少能量损耗,提高Q值,而且不同频率的压电微谐振器的阵列的批量制造在单个芯片上,对其原理进行了分析,仿真,并做出实物进行测试,谐振频率在97.4MHz,Q值达到6499.15。 |
| 关 键 词： | MEMS谐振器 Q值 压电 圆环 |
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