短/超短脉冲激光诱导等离子体微加工研究进展 |
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引用本文: | 王兴盛,黄宇珂,沈博,徐斌,章剑,缪洁良.短/超短脉冲激光诱导等离子体微加工研究进展[J].激光与光电子学进展,2020,57(11):61-73. |
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作者姓名: | 王兴盛 黄宇珂 沈博 徐斌 章剑 缪洁良 |
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作者单位: | 南京农业大学工学院,江苏南京210095;南京农业大学工学院,江苏南京210095;南京农业大学工学院,江苏南京210095;南京农业大学工学院,江苏南京210095;南京农业大学工学院,江苏南京210095;南京农业大学工学院,江苏南京210095 |
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基金项目: | 国家自然科学基金;中央高校基本科研业务费专项 |
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摘 要: |
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关 键 词: | 激光光学 微加工 短/超短脉冲激光 激光诱导等离子体微加工 |
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