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| 电镜,能谱仪故障四例的排除方法 | |
| 引用本文： | 刘伟.电镜,能谱仪故障四例的排除方法[J].电子显微学报,1996,15(6):598-598. |
| 作者姓名： | 刘伟 |
| 作者单位： | 东北大学材料测试中心 |
| 摘 要： | 电镜、能谱仪故障四例的排除方法刘伟（东北大学材料测试中心，沈阳１１０００６）一、ＥＭ－４００Ｔ电镜上使用的真空阀均是气阀。长年使用，气阀密封部位严重磨损，造成漏气，以至使真空气阀不能正常动作，造成电镜无法正常地运行。该电镜用了七只常闭气阀，三只常开气... |
| 关 键 词： | 电镜 能谱仪 故障 维修 |
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