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| 全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会三届一次会议纪要 | |
| 引用本文： | 王少楠.全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会三届一次会议纪要[J].低温与特气,2006,24(1):8. |
| 作者姓名： | 王少楠 |
| 摘 要： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(以下简称电子气分会)第三届成立大会暨三届一次会议,于2005年10月18日~22日在河南郑州召开。本次大会是电子气分会第三届委员会成立大会,也是三届一次年会。本次大会和全国气体标准化技术委员会(以下简称气标委)、全国标准样品技 |
| 关 键 词： | 标准化技术委员会 半导体材料 气体 会议 设备 第三届委员会 纪要 成立大会 标准样品 电子气 |
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