| 一种石墨烯热电器件的圆片级制备工艺 |
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| 引用本文： | 赵琦,张扬熙,刘冠东,高成臣,郝一龙.一种石墨烯热电器件的圆片级制备工艺[J].微纳电子技术,2014(7). |
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| 作者姓名： | 赵琦 张扬熙 刘冠东 高成臣 郝一龙 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子学研究院;北京大学深圳研究生院信息工程学院;中国科学院传感技术国家重点实验室; |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2012AA041201) |
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| 摘 要： | 石墨烯器件的规模制备是石墨烯材料从实验室研究走向市场应用的关键技术。基于大面积化学气相淀积(CVD)石墨烯,结合微加工技术,对石墨烯圆片级制备工艺进行了初步研究。优化了光学光刻和反应离子刻蚀(RIE)等工艺参数,设计了一套适用于4英寸(1英寸=2.54 cm)硅衬底圆片级制备石墨烯器件的完整工艺流程,可以减少光刻次数,降低工艺成本。测试结果表明,单个圆片的器件成品率可达90.6%,圆片内器件具有较好的均一性,制备的石墨烯热电单元阵列在冷热端温差为5.2℃时,输出电压可达3.52 mV,高于已报道的同类石墨烯器件。
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| 关 键 词： | 石墨烯 化学气相淀积(CVD) 圆片级 微加工技术 热电器件 |
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