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| 基于TMAH溶液的PN结自停止腐蚀的研究 | |
| 作者姓名： | 李俊伍 顾慧 黄见秋 秦明 |
| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
| 基金项目： | 国家863计划资助项目,航空基金资助项目 |
| 摘 要： | MEMS器件的性能与尺寸密切相关.介绍了一种精确控制器件尺寸的各向异性腐蚀方法--基于改进TMAH溶液的PN结自停止腐蚀.这种方法几乎不刻蚀铝,从而与CMOS工艺良好地兼容.应用这种办法正面腐蚀,成功释放结构,尺寸与设计比较符合,证明了这种方法的可行性及易操作性. |
| 关 键 词： | 四甲基氢氧化铵 自停止腐蚀 Al钝化 |
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