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| 油扩散泵系统的电离规对前级压强测量的影响 | |
| 引用本文： | 石川雄,野泽利雄,施振明.油扩散泵系统的电离规对前级压强测量的影响[J].真空,1979(6). |
| 作者姓名： | 石川雄 野泽利雄 施振明 |
| 作者单位： | (日)，(日) |
| 摘 要： | 一、序言 当油扩散泵的前级压强测量使电离规工作,极限压强测量用的BA规读数就增大,这种现象营田荣治,金铉佑①曾经碰到过,说他的原因是由于前级压强侧电离规的裂化气体起反扩散引起的。有一位作者在进行希科曼(Hickman)泵的极限压强特性的测量②时也观察到了同样的现象,根据实验条件发现这种现象有极端扩大的趋势。扩散泵一级的系统,其前级压强一般没有用电离规测量的,但是最近在超高真空排气系统惯用的串联扩散泵系统中,似乎主泵的前级压强有时用电离规测量的。在这种场合,为了用BA规正确地测量系统的极限压强,需要弄清各种因素对引起这… |
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