| 国外离子注入机发展动态 |
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| 引用本文： | 杨洪普,颜亨迪.国外离子注入机发展动态[J].微细加工技术,1995(4):1-10. |
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| 作者姓名： | 杨洪普 颜亨迪 |
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| 作者单位： | 长沙电子部第４８研究所 |
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| 摘 要： | 本文概述了微电子器件对离子注入机的需求，介绍了国外离子注入机发展现状和发展趋势。
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| 关 键 词： | 离子注入机 微电子器件 可靠性 |
DEVELOPMENT STATUS OF FOKEIGN ION IMPLANTER |
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| Yang Hongpu,Yan Hengdi.DEVELOPMENT STATUS OF FOKEIGN ION IMPLANTER[J].Microfabrication Technology,1995(4):1-10. |
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| Authors: | Yang Hongpu Yan Hengdi |
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| Abstract: | The demands of microelectronic devices for ion implanter are reviewed.Thepresent status and developing trend of foreign ion implanter are indroduced. |
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| Keywords: | ion implanter developing trend microelectronic device |
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