| 电磁型微电机定子绕组的研制 |
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| 引用本文： | 赵小林,宋柏泉.电磁型微电机定子绕组的研制[J].微细加工技术,1995(3):44-48. |
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| 作者姓名： | 赵小林 宋柏泉 |
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| 作者单位： | 上海交通大学信息存储研究中心 |
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| 摘 要： | 本文主要阐述应用微细加工技术研究和开发电磁型微电机定子绕组的制备工艺，重点介绍制备定子绕组所涉及到的各种材料及其用途。采用掩模电镀技术解决了平面工艺难以解决的线圈绕组。本研究结果为双层十七圈三对六组绕组系统。最小线宽为３μｍ，微电机直径为２ｍ，最大工作电流１２０ｍＡ，电阻值在２４－２５Ω之间。输出力矩为１．５μＮＭ，转子转速每分钟可达５００转。
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| 关 键 词： | 电磁型 微电机 定子绕组 掩摸电镀 |
FAERICATION OF STATORWINDING OF ELECTROMAGNETISM MICROMOTOR |
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| Zhao xiaolin, Song Paiqian, Zou Di.FAERICATION OF STATORWINDING OF ELECTROMAGNETISM MICROMOTOR[J].Microfabrication Technology,1995(3):44-48. |
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| Authors: | Zhao xiaolin Song Paiqian Zou Di |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electromagnetism micromotor stator winding micromecha-nism mask plating |
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