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| 热分解法制备钛酸铅镧薄膜及其电性能研究 | |
| 引用本文： | 孙平,张良莹.热分解法制备钛酸铅镧薄膜及其电性能研究[J].微细加工技术,1995(2):38-45. |
| 作者姓名： | 孙平 张良莹 |
| 作者单位： | 东南大学电子工程系，西安交通大学电子材料研究室 |
| 摘 要： | 本文研究了用金属有机物热发解法制备ＰＬＴ８薄膜的工艺过程和基片对薄膜结构的影响，并且给出了铁电性能的测量结果。 |
| 关 键 词： | 钛酸铅镧薄膜 热分解法 电性能 薄膜 |
PREPARATION AND ELECTRIC PROPERTIES OF PLT FILMS FROM METALLO-ORGANIC PRECURSORS |
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| Sun Ping.PREPARATION AND ELECTRIC PROPERTIES OF PLT FILMS FROM METALLO-ORGANIC PRECURSORS[J].Microfabrication Technology,1995(2):38-45. | |
| Authors: | Sun Ping |
| Abstract: | |
| Keywords: | ferroelectric properties thin film growth La doped lead ti-tanate metalloorganic decomposition(MOD) |
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