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| 用于液晶显示的透明导电膜 | |
| 引用本文： | 钟伯强 俞大畏. 用于液晶显示的透明导电膜[J]. 无机材料学报, 1995, 10(1): 125-128 |
| 作者姓名： | 钟伯强 俞大畏 |
| 作者单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 摘 要： | 采用低衬底温度射频溅射的方法制得了低电阻率、高透过率的透明导电膜，沉积时的氧分压、衬底温度等对透明导电膜有很大的影响．衬底温度为室温时，制出了４．５×１０－４Ω·ｃｍ的透明导电膜．在彩色滤色膜或保护膜上沉积透明导电膜时，只能在低于它们的耐热温度以下，并注意排除有机膜吸附的气体． |
| 关 键 词： | 导电膜 液晶显示 彩色滤色膜 溅射 |
TCO Film for LCD |
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| Zhong Boqiang, Yu Dawei, Pan Huiying. TCO Film for LCD[J]. Journal of Inorganic Materials, 1995, 10(1): 125-128 | |
| Authors: | Zhong Boqiang Yu Dawei Pan Huiying |
| Abstract: | |
| Keywords: | transmittance conductive oxide (TCO) liquid crystal display (LCD) color filter sputtering |
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