| 一种与VLSI技术兼容的新型三维集成射频干扰滤波器 |
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| 引用本文： | 张海鹏. 一种与VLSI技术兼容的新型三维集成射频干扰滤波器[J]. 微电子学, 2004, 34(1): 60-62 |
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| 作者姓名： | 张海鹏 |
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| 作者单位： | 杭州电子工业学院,电子信息学院,CAE研究所,浙江,杭州,310037 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60171033) |
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| 摘 要： | ![]()
基于双π型电磁干扰滤波器(EMIF)的电路结构，借鉴集成电路超微细加工技术，提出了与等平面超大规模集成电路工艺完全兼容的一种新型三维集成射频干扰滤波器电路；简要介绍了该电路的绝缘层上金属薄膜三维集成制造方法，建立了电路传递函数模型，并进行了简要分析。该电路可用于制作适合未来电子系统高频化、小型化、轻型化和片式化信号处理的RF片上系统。
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| 关 键 词： | VLSI 三维集成射频干扰滤波器 电路结构 超大规模集成电路 RF干扰 |
| 文章编号： | 1004-3365(2004)01-0060-03 |
A Novel 3-D Integrated Bandpass RF Interference Filter Completely Compatible with VLSI Technology |
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| ZHANG Hai-peng. A Novel 3-D Integrated Bandpass RF Interference Filter Completely Compatible with VLSI Technology[J]. Microelectronics, 2004, 34(1): 60-62 |
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| Authors: | ZHANG Hai-peng |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | 3-D Integration RF interference filter Micro-fabrication Metal-film-on-insulator RF-SOC |
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