基于ZMD31150的扩散硅传感器一体化设计及其应用

为了解决扩散硅传感器补偿和信号调理等方面存在的问题,提出了一种基于ZMD31150的扩散硅传感器一体化应用。通过专用的传感器结构、信号调理电路及信号校准系统,解决了扩散硅传感器的补偿和信号调理中存在的问题,实现了对扩散硅传感器的数字补偿和非线性修正。实验结果表明:该传感器简化了测量电路设计,实现了传感器信号输出伏级,极大地提高扩散硅传感器的应用。