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| 化合物半导体 | |
| 摘 要： | 0207926VO_2薄膜及电学开关特性刊]/邱家稳//真空科学与技术学报.—2001,21(6).—485～488.477(K)用溶胶,凝胶法在非晶玻璃上制备 VO_2薄膜,经过熔融、涂膜、烘干和热处理等工艺最后得到电阻相变2～3个量级的 VO_2薄膜。对烘干温度、熔融温度、膜厚和热处理温度对薄膜电阻开关特性的影响进行了研 |
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