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| 大功率AlGaAs—GaAs激光器干涉镜和减反射膜的制备 | |
| 引用本文： | 罗江财,王静波.大功率AlGaAs—GaAs激光器干涉镜和减反射膜的制备[J].四川真空,1999(1):34-37. |
| 作者姓名： | 罗江财 王静波 |
| 摘 要： | 分别用磁控溅射和电子束蒸发技术，在大功率ＡｌＧａＡ３－ＧａＡ３激光器条端面上，制作了ＳｉＯ２／Ｓｉ干涉镜和Ａｌ２Ｏ３减反射膜。讨论了Ｓｉ靶反应磁控溅射下，氧化硅层的沉积速率和影响镀层质量的因素。 |
| 关 键 词： | 大功率 激光器 干涉镜 减反射镜膜 铝镓砷 |
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