加工对称梁岛结构的微机械加工新技术 |
| |
引用本文: | 陶盛,马青华.加工对称梁岛结构的微机械加工新技术[J].半导体技术,1996(4):52-55. |
| |
作者姓名: | 陶盛 马青华 |
| |
作者单位: | 复旦大学电子工程系 |
| |
摘 要: | 本文报道了一种用无掩模腐蚀技术加工对称梁岛结构的微机械加工技术。根据硅台阶在KOH无掩模腐下形状和尺寸的变化规律,可以设计制造出一般掩模腐蚀难以形成的微机械对称当今岛结构。由于该技术工艺简单,易于控制,为制作对称梁岛结构的硅 速度传感器提供了新的加工手段。
|
关 键 词: | 微机械 对称梁岛结构 无掩模 腐蚀 半导体器件 |
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录! |
|