| 通过氧化Cu膜制备Cu_2O薄膜 |
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| 引用本文： | 孙杰,高斐,权乃承,晏春愉,张佳雯,郝培风,刘立慧.通过氧化Cu膜制备Cu_2O薄膜[J].材料科学与工程学报,2009(6). |
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| 作者姓名： | 孙杰 高斐 权乃承 晏春愉 张佳雯 郝培风 刘立慧 |
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| 作者单位： | 陕西师范大学物理学与信息技术学院; |
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| 基金项目： | 陕西省自然科学基础研究计划资助项目(2005F37) |
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| 摘 要： | 通过热蒸镀Cu膜并在空气中退火制备Cu2O薄膜,利用X射线衍射(XRD)、能量分散X射线谱(EDX)和原子力显微镜(AFM)研究了已沉积和不同温度退火薄膜的晶体结构、成份和表面形貌。结果表明,Cu膜在200℃退火30分钟可以得到具有单一成份的Cu2O薄膜。四探针测量得到所制备的Cu2O薄膜电阻率为0.22Ωcm。用紫外可见光分光光度计(UV-vis)研究了Cu2O薄膜的光学特性,得出其光学带隙为2.4eV。
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| 关 键 词： | Cu2O薄膜 热蒸镀 Cu膜 退火 |
Preparation of Cu_2O Thin Films by Oxidizing Cu Films |
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| SUN Jie,GAO Fei,QUAN Nai-cheng,YAN Chun-yu,ZHANG Jia-wen,HAO Pei-feng,LIU Li-hui.Preparation of Cu_2O Thin Films by Oxidizing Cu Films[J].Journal of Materials Science and Engineering,2009(6). |
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| Authors: | SUN Jie GAO Fei QUAN Nai-cheng YAN Chun-yu ZHANG Jia-wen HAO Pei-feng LIU Li-hui |
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| Affiliation: | SUN Jie,GAO Fei,QUAN Nai-cheng,YAN Chun-yu,ZHANG Jia-wen,HAO Pei-feng,LIU Li-hui(School of Physics Information Technology,Shaanxi Normal University,Xi'an 710062,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Cu_2O thin film thermal evaporation Cu film annealing |
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