| 低红外发射率TiO2/Ag/TiO2纳米多层膜研究 |
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| 引用本文： | 刘海鹰,刁训刚,杨盟,王天民,武哲.低红外发射率TiO2/Ag/TiO2纳米多层膜研究[J].红外,2005(10):1-6. |
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| 作者姓名： | 刘海鹰 刁训刚 杨盟 王天民 武哲 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京,100083 |
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| 摘 要： | 利用磁控溅射在玻璃衬底上制备了具有良好的光谱选择性透过率的TiO2/Ag/TiO2纳米多层膜.通过用X射线衍射、扫描电子显微镜、UV-VIS-NIR分光光度计、傅里叶红外光谱仪对样品进行表征,优化了薄膜的制备工艺,研究了多层膜的光学特性.结果表明,当Ag膜的厚度为12nm时,多层膜具有高的可见光透过率和优良的导电性能.样品在555nm波长处的透过率最高达93.5%,红外波段平均反射率为90%左右,8μm～14μm波段红外发射率ε＜0.2.Ag层厚度的增加使可见光高透过率波段变窄,透过率下降.内层及外层TiO2厚度的变化引起薄膜可见光透过峰的位置及强度发生变化,外层的影响高于内层.
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| 关 键 词： | Ti02／Ag／Ti02纳米多层膜 低红外发射率 磁控溅射 光谱选择性 导电性能 |
| 收稿时间： | 2005-05-10 |
| 修稿时间： | 2005年5月10日 |
Study of Low Emissivity TiO2/Ag/TiO2 Nano-multilayer Films |
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| LIU Haiying DIAO Xungang YANG Meng WANG Tianming WU Zhe.Study of Low Emissivity TiO2/Ag/TiO2 Nano-multilayer Films[J].Infrared,2005(10):1-6. |
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| Authors: | LIU Haiying DIAO Xungang YANG Meng WANG Tianming WU Zhe |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiO2/Ag/TiO2 nano-multilayer low emissivity magnetron sputtering |
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