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| 国外电子工业特种气体三氟化氮发展概况 | |
| 引用本文： | 徐汀.国外电子工业特种气体三氟化氮发展概况[J].精细与专用化学品,2003,11(16):10-11. |
| 作者姓名： | 徐汀 |
| 作者单位： | 天津达一琦精细化工有限公司 |
| 摘 要： | 本文概括了国外三氟化氮的发展情况,介绍了三氟化氮的性质、制备、用途和特点,特别指出它在环保方面的优点。三氟化氮是电子工业用特种气体,也是专用化学品,它的市场依赖于半导体工业的发展。到2000年,半导体工业已得到迅速发展,增大了需求量。近期三氟化氮的发展动向主要体现为国外多家公司改进工艺,扩大生产能力和组建合资企业。我国也与美国杜邦公司组建合资企业并扩大生产能力。 |
| 关 键 词： | 三氟化氮 电子气体 半导体 |
Development Situation of NF3 Special Gas for Electronic Industry Abroad |
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