超高真空中使用的高纯过滤金属蒸发源

设计了一种高真空使用的低电渡过渡金属蒸发源，它能产生高纯金属原子束，且具有一；定的寿命。该蒸发源是将过渡金属Ｃｏ，Ｎｉ或Ｃｒ电镀到一个由Ｗ丝弯成的Ｕ形加热器上构成的。装入超高真空中，利用Ｗ丝自身的电阻加热，去气后，可获得数小时的清洁蒸发。实验结果表明，在离蒸发源约５ｃｍ处，其淀积速率最高可达１０ｎｍｍ／ｍｉｎ，总的淀积厚度超过５００ｎｍ，而且Ａｕｇｅｒ分析结果显示，在超６高真空中淀积的上述几种过渡